GRYLLS全新7000系列新品发布，赋能半导体高精度智造

近日，精密流体测控品牌GRYLLS正式推出7000系列新品，涵盖7000P压力控制器/流量计、7000G气体质量流量控制器/流量计、7000L液体质量流量控制器/流量计三大产品线，专为半导体行业量身打造。

新品聚焦半导体薄膜沉积、刻蚀等关键工艺需求，具备EP/双V高洁净度、极速响应（＜30ms）、超高精度与重复性，适配高纯度特气输送、腔体压力控制等核心场景，支持多规格定制与工业系统无缝集成，助力芯片制造良率提升，进一步*GRYLLS流体测控产品矩阵，持续赋能半导体智造升级。

GRYLLS-7000G 系列气体质量流量控制器 / 流量计

核心能力：原生半导体级设计，流量范围覆盖 0.5SCCM 至 1000SLPM，量程比可达 10000:1，支持多气体 / 多量程定制。

性能亮点： < 50ms 响应速度，重复性高达 ±0.02% F.S.，精度达 ±0.05% F.S.；可选 EP / 双 V 洁净度，特殊气体适配 HC 和镍铬合金材质，全金属密封可选，适配半导体特气输送场景。

应用场景：精准服务于半导体制造中的刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺，保障特气流量稳定可控，提升芯片良率。

 GRYLLS-7000L 系列液体质量流量控制器 / 流量计

核心能力：采用科里奥利技术原理，不依赖流体物理特性，可实现液体与高压气体兼容的高精度小流量测量，标称流量范围 1g/h 至 1000kg/h。

性能亮点：响应速度 < 100ms，重复性达 ±0.05% RD，精度可达 ±0.2%~0.5% RD；接液选用 316L 耐腐蚀材料，支持环境测量，适配超微小流量控制需求。

应用场景：覆盖半导体湿法清洗、光刻胶配比、生物制药精密配液等场景，为高精度液体计量提供可靠保障。

 GRYLLS-7000P 系列压力控制器 / 流量计

核心能力：基于压力式传感器技术，可实现控上游压力、控下游压力、控制恒定压力三种模式，带流量监测选项可精准监测 1SCCM 至 50SLPM 流量值。

性能亮点：30ms 极速响应，压力控制精度达 ±0.125% F.S.，可选金属密封与 EP / 双 V 洁净度，接液部分支持 316L VimVar 材料，耐腐蚀，适配高纯度工艺场景。

应用场景：广泛应用于半导体腔体压力控制、密闭腔体 / 容器压力稳定调节等场景，满足洁净与高精度压力控制需求。